CF₄氣體分析儀GASERA ONE 概述

GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術，擁有探測器和光源，廣泛應用于科研、工業(yè)和其他領域；其中探測器是超高靈敏度的增強型懸臂梁光學麥克風技術。

CF₄氣體廣泛應用于半導體制造、環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)安全等領域。光聲光譜技術通過檢測氣體吸收光能后產生的聲信號，實現高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF₄濃度測量。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-解決方案

通過選擇的光源類型，GASERA ONE適合多種應用需求；

對于更復雜的測量方案，幾個GASERA ONE可聯用為應用提供一個簡單解決方案。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-操作

GASERA ONE為用戶提供了一個簡單而直觀的高分辨率顯示器和控制按鈕。此外，用戶可以通過智能手機，平板電腦或其它設備控制GASERA ONE。

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-技術

工作原理：激光光聲光譜

超靈敏MEMS懸臂梁傳感器光學麥克風，耦合激光干涉儀測量懸臂梁微量位移

根據應用需求配置光源，如靈敏度和氣體成分種類

合適的光源包括可調諧半導體激光器(TDL)，量子級，聯激光器(QCL)，外腔式量子級聯激光器(EC-QCL)，帶間級聯激光器，(ICL)，光學參量振蕩器 (OPO)，帶濾光片的寬帶紅外光源(NDIR)

氣室恒定溫度50℃

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-通用

19"3 U工業(yè)機箱，適用于全部臺式或機架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內置7"前置顯示器的嵌入式計算機

數據存儲容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

GASERA ONE可以通過智能手機，平板電腦,筆記本 電腦或另一個GASERA ONE來操作

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-環(huán)境

工作條件:

      溫度范圍：0℃～ + 40℃

      濕度：低于90%RH,無凝露

      壓力范圍：大氣壓

      防護等級：IP20(IEC 529)

儲存條件：

      溫度范圍：-20℃～ + 60℃

采樣條件：

      溫度：0～ + 49℃

      濕度：無凝露

      氣體流量：約1L/min

      壓力：930mbar～1100mbar

      微粒< 1μm

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-檢測參數

響應時間：根據通道積分時間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從5秒到幾分鐘

檢測限：0.1ppb

動態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)

重復性：小于1%的測量值，在工作條件標準濃 度下

準確度：取決于校準濃度標準氣體的精度，典型2～5 %

溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內無影響

壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內無影響